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Piezomotoren / Piezoelectric Motors / Piezo Motors => sind Kleinstmotoren für Leistungen <1W. Ihr Wirkungsprinzip beruht auf dem inversen Piezoeffekt [siehe Piezoelektrizität]. Dabei wird über ein elektrisches Wechselfeld eine mechanische Verformung von Piezomaterialien erzielt, die in eine Drehoder Längsbewegung umgesetzt wird. Positioniersysteme mit Piezomotoren arbeiten verschleißfrei, unterliegen keiner Beeinflussung durch Magnetfelder, erlauben Stellwege bis zu 300 pm, Wiederholgenauigkeiten im Sub-Nanometerbereich und Beschleunigungen bis zu 100000 m/s2. Sie sind in der Massenspeichertechnik, in der Mikroelektronikfertigung in Präzisionsbearbeitungssystemen, in der Medizintechnik sowie in der Optik, Photonik und Nanometrologie weit verbreitet.
